【摘 要】
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以丙醇锆作为前驱体，利用酸碱分步催化法制备了ZrO2溶胶，用粒度仪检测胶体粒度；用N2吸脱附表征凝胶的结构；采用旋转镀膜法在K9基片上镀制单层ZrO2薄膜；用分光光度计和椭偏仪检测膜
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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以丙醇锆作为前驱体，利用酸碱分步催化法制备了ZrO2溶胶，用粒度仪检测胶体粒度；用N2吸脱附表征凝胶的结构；采用旋转镀膜法在K9基片上镀制单层ZrO2薄膜；用分光光度计和椭偏仪检测膜层的透过率、折射率及膜层厚度；用红外光谱仪检测胶体内部粒子间化学键状态。实验结果发现，在脉宽1nm，波长1064nm时，采用此种胶体镀制的单层ZrO2膜层折射率达到1．74，单层膜损伤阈值为9．0J／cm^2，表明该方法集中了酸与碱两种催化方式的优点，一定程度上提高了膜层的光学性能。
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