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在移相型显微干涉轮廓仪中,由于显微放大系统对每幅干涉条纹图能通过的空间带宽有限,使得在最终计算重构样品细节形貌时出现畸变现象,通过模拟计算给出了对这种现象的分析,并给出了在一定条件下改善该畸变现象的方法。
移相显微干涉系统中的衍射效应分析
【摘 要】
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在移相型显微干涉轮廓仪中,由于显微放大系统对每幅干涉条纹图能通过的空间带宽有限,使得在最终计算重构样品细节形貌时出现畸变现象,通过模拟计算给出了对这种现象的分析,并给出了在一定条件下改善该畸变现象的方法。
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1998年18期
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