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一种连明导电薄膜用靶，其具有氧化铟作为其主要组分并含有钨和／或钼，其中通过使氧化铟粉末和氧化钨粉末和／或氧化钼粉末成形．然后加热并烧结该成形体，使得溅射后的薄膜具有氧化铟作为主要组分，并含有原子比(W+Mo)／In为0．0040-00470的钨和／或钼而获得所述透明导电薄膜用靶，
透明导电薄膜用靶、透明导电薄膜及其制造方法、显示器用电极材料、有机电致发光元件和太阳能电池
【摘 要】
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一种连明导电薄膜用靶，其具有氧化铟作为其主要组分并含有钨和／或钼，其中通过使氧化铟粉末和氧化钨粉末和／或氧化钼粉末成形．然后加热并烧结该成形体，使得溅射后的薄膜具有氧化铟作
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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2005年2期
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