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利用等离子体辅助电弧沉积技术在高速钢片和单晶硅片P（100）上沉积ZrAlN多元薄膜，利用扫描电镜、能谱分析、x射线衍射对薄膜进行了结构和形貌表征，利用显微硬度计、摩擦磨损试验仪对薄膜的性能进行了检测，并研究了铝含量对薄膜组织结构、形貌、显微硬度及耐磨性能等的影响。结果表明：ZrAlN多元薄膜有（111）面的择优取向，随Al含量的增加，（111）衍射峰的位置向小角度偏移，当Al原子分数大于3％时，薄膜中出现AlN相；随着Al含量的增加，薄膜的硬度和耐磨损性能先增加后降低，在Al原子分数为3％时，获最高硬度