硅化石墨的显微结构分析

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本文运用配有能谱仪的扫描电镜及X射线衍射仪对硅化石墨样品进行了显微观察及结构分析,证明硅化石墨由C,Si及β-SiC三种结构组成,并且Si及β-SiC在石墨基体中分布均匀、结合紧密。
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