电喷涂制备薄靶

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用一简易的电喷装置制备了各种粉末材料靶,靶衬为薄的金、铝和碳膜,靶的厚度范围为0.03—2 mg/cm~2。靶的均匀性用α测厚仪测量,在多数情况下,它小于8%。制备粉末材料靶的关键是选择针头尺寸、针头电压和准直板电压。 A variety of powder target materials were prepared using a simple electrospray device. The targets were thin gold, aluminum and carbon films. The target thickness ranged from 0.03 to 2 mg / cm ~ 2. The uniformity of the target is measured with an alpha thickness gauge, which in most cases is less than 8%. The key to preparing a powder material target is the choice of needle size, needle voltage and collimation voltage.
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