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运用直流磁控反应溅射技术，在不同的氧气压强下，沉积ＮｉＯｘ薄膜，随后在１ＭＫＯＨ电解溶液中处理成ＮｉＯｘＨｙ．测量了ＮｉＯｘＨｙ薄膜的电化学性质，在０．３５－２．５μｍ波范围内测定了ＮｉＯｘＨｙ薄膜漂白态与着色态的垂直透过率与近于垂直的反射率，导出了这两种状态的平均可见光透射率，反射率，吸收率与溅射氧压强关系，给出了近于最佳参数样品的吸收系数曲线，对电致变色机理作了讨论。