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<正> 快速热处理是半导体工艺生产线中必不可少的一个重要环节,对产品的指标和成品率有着至关重要的影响。1 灯光辐射型加热源目前世界上常见的半导体快速退火设备,基本上采用的是灯光辐射型热源。其由上下两个专用灯管组构成,一般每组数十根异型灯管(形状和数目因厂家
中国特色的半导体快速热处理技术——高频感应石墨加热技术介绍
【摘 要】
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<正> 快速热处理是半导体工艺生产线中必不可少的一个重要环节,对产品的指标和成品率有着至关重要的影响。1 灯光辐射型加热源目前世界上常见的半导体快速退火设备,基本上采
【机 构】
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北京华兴微电子有限公司副总经理
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2003年8期
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