磁流变抛光近零亚表面损伤工艺研究

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实验表明磁流变抛光以其独特的剪切去除机理可用于光学元件亚表面损伤的去除,并且自身不产生新的划痕,同时还可提升光学元件的表面质量,可作为高效加工无损光学元件的一种工艺。 Experiments show that with its unique shear removal mechanism, MRF can be used for the removal of sub-surface damage of optical components, and does not produce new scratches by itself, but also can improve the surface quality of the optical components and can be used as an efficient processing of non-destructive optical components A kind of craft.
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