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介绍了一种微力找平技术,该技术应用气缸及间隙找平机构,可满足厚胶光刻工艺要求。
接触接近式光刻机微力找平技术
【摘 要】
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介绍了一种微力找平技术,该技术应用气缸及间隙找平机构,可满足厚胶光刻工艺要求。
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2016年11期
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