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β-C3N4晶体是一种新型假想材料,其结构和β-Si3N4晶体相似。β-C3N4材料从理论上预言可能具有比金刚石还大的体积模量,并有较为特殊的电学和光学性能。高含氮量的CN膜和多晶β-C3N4的研究成为目前的研究重点。原子比N:C〉1的CN膜和颗粒直径约为0.5μm的多晶已有报导。多晶体的研究倾向于采用低能N离子辅助沉积。掺杂元素的研究对CN膜的半导体性能的影响将成为该领域的又一新的研究方向。