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本文利用附面层模型，研究了亚性米Ｓｉ外延生长中，生长速率随时间的变化规律，分析不同不的硅源及不同的生长条件对其的影响。
亚微米硅外延生长特性研究
【摘 要】
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本文利用附面层模型，研究了亚性米Ｓｉ外延生长中，生长速率随时间的变化规律，分析不同不的硅源及不同的生长条件对其的影响。
【出 处】
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薄膜科学与技术
【发表日期】
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1995年1期
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