关于红外探测器列阵几何形状的分析

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在评价红外探测器列阵性能时要解决的主要问题之一是如何确定列阵单元的实际灵敏面面积。它包括两个部分(图1):由扩散或注入单元规定的单元区和单元的外围区。在这外围区域内产生的光生载流子都会被收集在单元内。单元外围区的范围难以确定,它是可变化的,制作探测器元件的工艺过程中有细微的变化,都会影响它发生变化。 One of the major issues to be addressed in evaluating the performance of an array of infrared detectors is how to determine the actual area of ​​the sensitive elements of the array elements. It consists of two parts (Figure 1): the cell area and the cell’s peripheral area defined by the diffusion or injection cell. Photo-generated carriers generated in this peripheral area are collected in the cell. The extent of the perimeter area of ​​the cell is difficult to determine, it can be varied, and subtle changes in the process of making the detector element can affect it.
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