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通过分析对比常规直线四探针、双电法、范德堡法的测试原理及优缺点,有如下结论:在待测样品较厚时,以常规四探针为宜;对于较薄样品中双电法测试精度更高;范德堡法经改进后,更加适合微区薄层电阻的测量。
四探针法测量薄层电阻方法对比
【摘 要】
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通过分析对比常规直线四探针、双电法、范德堡法的测试原理及优缺点,有如下结论:在待测样品较厚时,以常规四探针为宜;对于较薄样品中双电法测试精度更高;范德堡法经改进后,更
【机 构】
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华南农业大学电子工程学院
【出 处】
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信息记录材料
【发表日期】
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2020年3期
【基金项目】
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2020.01华南农业大学《微电子技术》课程思政示范项目批文号20191220
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