【摘 要】
：
用多弧离子镀技术在铜基上电镀Cr/Ni层进行不同工艺条件下多弧离子沉积TiN/Ti实验.借助X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)研究了TiN/Ti与Cr/Cu接触界面形成、微结构及其组
【机 构】
：
厦门大学物理系,化学系固体表面物理化学国家重点实验室,厦门,361005
论文部分内容阅读
用多弧离子镀技术在铜基上电镀Cr/Ni层进行不同工艺条件下多弧离子沉积TiN/Ti实验.借助X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)研究了TiN/Ti与Cr/Cu接触界面形成、微结构及其组分与形貌.XRD分析显示,薄膜表面组分包含TiN,Ti2N多晶相外,还包含一些Cr-Ti的金属间化合物等.显然,TiN,Ti2N在表面上已形成.SEM观察指出,在90℃制备的表面膜具有不平整的类枝状结晶结构.随着温度升高至170℃,得到精细TiN/Ti覆盖层表面,XRD峰强度增大.
其他文献
由二乙醇胺与 H4 Si W1 2 O4 0 ·n H2 O合成了 [(HOCH2 CH2 ) 2 NH2 ]8· [Si W1 2 O4 0 ]2 · H2 O。单晶结构解析结果表明 ,晶体属三斜晶系 ,空间群 P 1 ,晶胞参数 :a=1 .
理论计算表明,介质包覆导体颗粒用作电流变液的分散相,可以获得高剪切应力的电流变液.采用溶胶-凝胶技术在尺度为5-10?μm的石墨颗粒表面成功地包覆了TiO2,获得了金红石相TiO
通过在Ag-BaO薄膜表面真空沉积10nm厚的银电极,成功制备了内场助结构Ag-BaO光电阴极.测试结果显示,Ag-BaO薄膜光电发射电流随内场助偏压的增大而上升.理论分析表明,Ag-BaO薄
以Ba为填充原子 ,在x =0— 3 0 ,y=0— 0 7的组成范围内 ,用多步固相反应法合成了单相BayFexCo4 -xSb12 化合物 .用Rietveld方法对结构的精确化结果表明 :合成的BayFexCo4 -
采用晶格气体模型 ,用密度波理论确定了六方密堆二元合金的 10种有序结构类型、14种完全有序结构 ,并对一些典型实验结果给予解释 .
Using lattice gas model, ten kinds of
室温下在单晶Si中注入 (0 6— 1 5 ) %的C原子 ,利用高温退火固相外延了Si1-xCx 合金 ,研究了不同注入剂量下Si1-xCx 合金的形成及其特征 .如果注入C原子的浓度小于 0 6 %