子孔径拼接干涉检测离轴非球面研究

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lifengxing0628

【摘要】

：

将子孔径拼接技术与干涉技术相结合提出了一种新的检测离轴非球面的方法,该方法无需其他辅助光学元件就可以实现对大口径、离轴非球面的测量.对其基本原理进行了分析和研究;

【作者】

：

王孝坤郑立功张学军张忠玉

【机构】

：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室

【出处】

：

光子学报

【发表日期】

：

2011年1期

【关键词】

：

光学测试子孔径拼接干涉离轴非球面最小二乘拟合 Optical testing Subaperture Stitching Interferometry（

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将子孔径拼接技术与干涉技术相结合提出了一种新的检测离轴非球面的方法,该方法无需其他辅助光学元件就可以实现对大口径、离轴非球面的测量.对其基本原理进行了分析和研究;并基于齐次坐标变换、最小二乘拟合建立了综合优化和误差均化的拼接数学模型;开发了子孔径拼接检测非球面的算法软件,并设计和搭建了子孔径拼接干涉检测装置;利用综合优化的拼接模型对一口径为376×188 mm2的离轴非球面进行了拼接干涉测量,通过子孔径拼接算法得到了精确的全口径面形分布;且对该非球面进行零位补偿测量,其全口径面形与拼接全口径面形

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