【摘 要】
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利用液相外延技术，考察了与ＩｎＡｓ衬底晶格匹配的ＩｎＡｓＰＳｂ四元系化合物生长条件对外延层晶体质量的影响．
The influence of the growth conditions of InAsPSb quaternary compounds lattice
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利用液相外延技术，考察了与ＩｎＡｓ衬底晶格匹配的ＩｎＡｓＰＳｂ四元系化合物生长条件对外延层晶体质量的影响．
The influence of the growth conditions of InAsPSb quaternary compounds lattice matched to InAs substrates on the quality of epitaxial layer was investigated by liquid phase epitaxy.
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