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综述了作者近年来通过交流螺旋磁控溅射制备锐钛矿和金红石型微晶薄膜的研究进展,阐述了薄膜的制备工艺与其晶体结构、组成、光学性能以及杀菌能力的关系,并通过有效的方法对其光学性能进行了改进.
金红石和锐钛矿型二氧化钛薄膜的制备和特性评价
【摘 要】
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综述了作者近年来通过交流螺旋磁控溅射制备锐钛矿和金红石型微晶薄膜的研究进展,阐述了薄膜的制备工艺与其晶体结构、组成、光学性能以及杀菌能力的关系,并通过有效的方法对
【机 构】
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日本名古屋工业大学环境科学与城市规化系,日本材料科学研究所,日本九州大学超高压电子显微镜和材料科学实验室
【出 处】
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陕西科技大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2004年5期
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