【摘 要】
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中国计量科学研究院研制出频率范围0.000 5 Hz-1 200 Hz高精度角振动基准装置,低频角振动装置最大角位移300°,中频角振动装置最大角位移60°,角加速度范围为0.04 ra
【机 构】
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中国计量科学研究院,浙江大学机械工程学院浙江省先进制造技术重点实验室
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中国计量科学研究院研制出频率范围0.000 5 Hz-1 200 Hz高精度角振动基准装置,低频角振动装置最大角位移300°,中频角振动装置最大角位移60°,角加速度范围为0.04 rad/s^2-2 000 rad/s^2。装置实现了衍射式外差激光干涉仪测量方法,以及圆光栅和双光束外差激光干涉仪差动测量。角加速度复灵敏度测量不确定度（k=2）：参考点优于0.5%,0.5°,通频带优于1.0%,1.0°。
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