【摘 要】
：
采用射频磁控溅射工艺在SiO2/Si衬底上成功制备了适用于PZT铁电薄膜底电极的180 nm厚、沿(111)晶向强烈取向的Pt薄膜.厚约50 nm的Ti膜被用作过渡层,以增强Pt薄膜与衬底之间的
论文部分内容阅读
采用射频磁控溅射工艺在SiO2/Si衬底上成功制备了适用于PZT铁电薄膜底电极的180 nm厚、沿(111)晶向强烈取向的Pt薄膜.厚约50 nm的Ti膜被用作过渡层,以增强Pt薄膜与衬底之间的黏着性.实验表明,在Pt薄膜的制备过程中,较高的衬底温度有利于薄膜晶化,促使Pt薄膜沿(111)晶向择优取向生长.而在薄膜沉积后加入适当的热处理工艺,能有效地提高Pt薄膜的择优取向性,同样可以得到沿(111)晶向强烈取向的Pt薄膜.原子力显微镜分析表明,制得的薄膜结构相对致密,结晶状况良好,晶粒尺寸约为50 nm.
其他文献
牵牛属旋花科牵牛属,一年生缠绕草本。这一种植物的花酷似喇叭状,因此有些地方叫它做喇叭花。种植牵牛花一般在春天播种,夏秋开花,其品种很多,花的颜色有蓝、绯红、桃红、紫
随着通信技术的发展,线性调制技术,宽带通信技术正得到越来越广泛的应用。在多通道短波通信发射设备中,多个包络变化很大的单边带调制信号经过叠加后,形成的宽带信号通过非线
这里,曾经是农田一片、蛙声起伏,然而27年前,当改革开放的浪潮来袭时,在“开发区大有希望”的时代召唤之下,它破土奠基,成为了一群开拓者“园区梦”的起航点,且从创立之日起
在深化教育改革、全面推进素质教育的大背景下,语文美育得到前所未有的重视。语文美育作为全面发展教育的一个重要组成部分,它主要有两大任务:一是帮助中小学学生树立正确的审美观和高尚的人生态度,养成健康的审美情趣和一定的审美文化修养,二是培养中小学学生感受美、鉴赏美、表现美、创造美的能力,从而造就一代有丰富个性、完美人格的,全面发展的新人。语文教科书是教师进行审美教学活动的重要依据,也是学生学习文化知识,
<正>浙江省宁波市良种场是一个有着50多年历史的国有农场,由于种种原因,良种场今天发展举步维艰,到了非改革不可的境地。现就制约宁波市良种场发展的症结和良种场深化改革所
以发展奶牛养殖为重点的翼城县富华奶牛养殖有限责任公司,通过土地流转,开展集约化经营,增加了养殖效益,带动了农民增收,取得了良好的经济效益和社会效益。
目的探讨老年急性脑梗死溶栓后24 h内使用注射用丹参多酚酸的疗效及其对血液流变学和氧化应激的影响。方法选择老年急性脑梗死进行溶栓治疗患者280例,根据随机数字法分为丹参
给出了在石英玻璃管内表面上镀膜的一种方法，并对镀膜工艺参数和影响膜质量的一些因素进行了讨论。
A method of coating on the inner surface of a quartz glass tube is g
目的探讨蛋黄油联合高压氧治疗(Hyperbaric oxygen Therapy,HBOT)在肛周脓肿术后创面的消炎促愈作用。方法将96例肛周脓肿术后创面患者随机分为两组,均接受常规临床手术和换
【研究目的】骨髓增殖性肿瘤(MPNs)起源于多能造血干细胞,其主要特点是一系或者多系分化相对较成熟的骨髓细胞克隆性异常增生。增生的细胞常表现为多能髓样造血干细胞所属的