PLD法制备PZT-YBCO结构的铁电薄膜的研究

来源 :低温物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yiqikeren

【摘要】

：

本文利用脉冲准分子激光在LaAlO3单晶基片上淀积了YBCO和Zr/Ti为94/6的PZT铁电薄膜,并通过高频溅射将Pt蒸镀在PZT薄膜上作为上电极;用X射线衍射表征了该多层膜的晶相结构,测

【作者】

：

吴平彭润玲符欣

【机构】

：

南京航空航天大学理学院,上海理工大学光电学院

【出处】

：

低温物理学报

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

PZT薄膜 YBCO薄膜激光脉冲淀积 PZT铁电薄膜晶相结构制备工艺 PLD法 YBCO薄膜脉冲准分子激光 LAALO3 PZT薄膜 X射线衍射 PZT

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本文利用脉冲准分子激光在LaAlO3单晶基片上淀积了YBCO和Zr/Ti为94/6的PZT铁电薄膜,并通过高频溅射将Pt蒸镀在PZT薄膜上作为上电极;用X射线衍射表征了该多层膜的晶相结构,测量了PZT的铁电性能和介电特性,讨论了PZT/YBCO薄膜的制备工艺,以及工艺条件对晶相结构和薄膜性能的影响.

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