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介绍了一种制作折射型微透镜列阵的新方法，其主要思想参考了灰阶掩模法。所用掩模板用激光直写制作，通过一次曝光即可在光刻胶上形成折射型向透镜的轮廓，并给出了向 镜办廓的测试图样。
折射型微透镜列阵制作的一种新途径
【摘 要】
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介绍了一种制作折射型微透镜列阵的新方法，其主要思想参考了灰阶掩模法。所用掩模板用激光直写制作，通过一次曝光即可在光刻胶上形成折射型向透镜的轮廓，并给出了向 镜办廓的测
【机 构】
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电子科技大学应用物理所,中国科学院光电研究所
【出 处】
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电子科技大学学报
【发表日期】
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2000年3期
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