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期刊论文
折射型微透镜列阵制作的一种新途径
折射型微透镜列阵制作的一种新途径
来源 :电子科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:leng159461
【摘 要】
:
介绍了一种制作折射型微透镜列阵的新方法,其主要思想参考了灰阶掩模法。所用掩模板用激光直写制作,通过一次曝光即可在光刻胶上形成折射型向透镜的轮廓,并给出了向 镜办廓的测
【作 者】
:
李学民
周礼书
【机 构】
:
电子科技大学应用物理所,中国科学院光电研究所
【出 处】
:
电子科技大学学报
【发表日期】
:
2000年3期
【关键词】
:
微透镜列阵
灰阶掩模
激光直写
微光学
microlens array
gray-scale mask
laser direct-writing
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介绍了一种制作折射型微透镜列阵的新方法,其主要思想参考了灰阶掩模法。所用掩模板用激光直写制作,通过一次曝光即可在光刻胶上形成折射型向透镜的轮廓,并给出了向 镜办廓的测试图样。
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