电梯导轨表面轮廓的在线检测与分析系统

来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：benq702

【摘要】

：

该系统包括PSD,激光垂直准直器,数据采集箱和应用软件四个部分.激光准直器发出的光分为两路:一路用于建立测量的垂直基准;另一路用于补偿光束的随机漂移.与导轨紧密相连的PSD

【作者】

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李醒飞张晨阳郭丽峰张国雄

【机构】

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天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,日本右芝株式会社

【出处】

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光电工程

【发表日期】

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2004年2期

【关键词】

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位置敏感器件电梯导轨实时测量激光准直仪直线度垂直基准 PSD Elevator rail Real-time measurement Laser

【基金项目】

：

容闳基金和美国联合技术公司联合资助项目

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该系统包括PSD,激光垂直准直器,数据采集箱和应用软件四个部分.激光准直器发出的光分为两路:一路用于建立测量的垂直基准;另一路用于补偿光束的随机漂移.与导轨紧密相连的PSD用来检测导轨表面与垂直基准的距离变化.实验结果显示:使用降噪技术后,系统在50米测量范围内精度达40μm,导轨直线度标准差也减小.

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