Integrated UV-based photo microreactor-distillation technology toward process intensification of con

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【摘要】

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Ultra-high-purity silicon tetrachloride(SiCl4)is demanded as an electronic-grade chemical to meet the stringent requirements of the rapidly developing semicondu

【作者】

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Ye Wan Wenhui Guo Jin Xiao Daz

【机构】

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SchoolofMetallurgyandEnvironment,ChinaENFIEngineeringCo.,NationalEngineeringLaboratoryofPolysiliconM

【出处】

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中国化学工程学报:英文版

【发表日期】

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2020年9期

【关键词】

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SiCl4 Process intensification Photochlorination MICROREACTOR DISTILLATION

【基金项目】

：

financial support from Industry Base Project supported by Ministry of Industry and Information Technology(0714-EMTC02-5593/13),Scientific Research and Development of Henan province(174200510014)

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Ultra-high-purity silicon tetrachloride(SiCl4)is demanded as an electronic-grade chemical to meet the stringent requirements of the rapidly developing semiconductor industry.The high requirement for ultra-high-purity SiCl4 has created the need for a high-

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