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本文通过优化晶体弯曲过程的旋转点，理论上分析了弧矢聚焦晶体弯曲原理、弯曲所造成的系统误差以及弯曲过程中晶体面形精度的变化；介绍了以柔性铰链为基本单元的精密工作台弯曲晶体的工作原理及其造成的系统误差.
同步辐射弧矢聚焦晶体压弯原理
【摘 要】
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本文通过优化晶体弯曲过程的旋转点，理论上分析了弧矢聚焦晶体弯曲原理、弯曲所造成的系统误差以及弯曲过程中晶体面形精度的变化；介绍了以柔性铰链为基本单元的精密工作台弯曲
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所,,中国科学院西安光学精密机械研究所；国家上海同步辐射中心,
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2004年期
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