【摘 要】
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采用355 nm波长、高重复频率、短脉冲DPSS紫外激光器作为光源,开发了激光精细加工装备,具有光束高速旋转打孔和光束偏转扫描加工两种不同的加工方式,两种加工方式可便捷切换,
【机 构】
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上海市激光技术研究所,上海市激光束精细加工重点实验室,
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采用355 nm波长、高重复频率、短脉冲DPSS紫外激光器作为光源,开发了激光精细加工装备,具有光束高速旋转打孔和光束偏转扫描加工两种不同的加工方式,两种加工方式可便捷切换,满足不同量级孔径的高质量激光精细加工需求。设计了专用的接近衍射极限的紫外光束旋转聚焦物镜和远心扫描透镜,保证了加工质量。
Using 355 nm wavelength, high repetition rate and short pulse DPSS UV laser as light source, the laser fine processing equipment has been developed. It has two different processing methods: high speed rotation drilling and beam deflection scanning. The two processing methods can be switched easily, Meet the needs of high quality laser finishing of different orders of aperture. A dedicated near-diffraction limit UV beam is used to rotate the focusing lens and the telecentric scanning lens to ensure the processing quality.
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