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日本Disco公司日前开发出了一种新型生产设备，可利用等离子干蚀刻，减轻超薄晶圆时产生的应力。在IC卡等产品上封装芯片时，即使受到外部作用力也不会遭到破坏，可提高产品的可靠性。
日本Disco开发出可维持超薄晶圆强度的设备
【摘 要】
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日本Disco公司日前开发出了一种新型生产设备，可利用等离子干蚀刻，减轻超薄晶圆时产生的应力。在IC卡等产品上封装芯片时，即使受到外部作用力也不会遭到破坏，可提高产品的可靠性
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2005年10期
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