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使用A1N插入层方法由金属有机化学气相沉积(MOCVD)在GaN上生长的不同A1组分的AlxGa1-xN以及掺MgAl0.54Ga0.45N。使用阴极荧光的测试方法先后对未掺杂AlxGa1-xN和掺杂Mg的Al0.54Ga0.46N的光学性质进行了研究。研究表明,随着Al组分增大,横向组分分凝对A1GaN发光强度的影响逐渐减小;掺Mg后AlGaN薄膜质量下降,并且Al0.54Ga0.46N中的Mg相关光激发过程主要取决于导带-受主对复合发射和施主一受主对复合发射。