折叠波导行波管及微加工技术

来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：david_test

【摘要】

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随着真空微电子学和微加工技术的发展,微真空电子器件的研究范围日益扩展并逐步扩大了各领域的重要应用.研究表明:毫米波折叠波导行波管已成为国际范围THz器件的研究重点.本

【作者】

：

欧阳勤

【机构】

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北京真空电子研究所

【出处】

：

真空电子技术

【发表日期】

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2003年6期

【关键词】

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微真空电子器件折叠波导微加工技术 Micro vaccum electronic devices Folded waveguid Microfabricat

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随着真空微电子学和微加工技术的发展,微真空电子器件的研究范围日益扩展并逐步扩大了各领域的重要应用.研究表明:毫米波折叠波导行波管已成为国际范围THz器件的研究重点.本文扼要地介绍了美国威斯康星大学对折叠波导行波管的研究情况,包括设计、缩尺实验、采用的制造技术以及某些其他微真空电子器件和微加工制造方法.

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