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在用提拉法（Czochralski)生长钽酸锂（LiTaO3)、铌酸锂（LiNbO3)单晶的实践中，通过对上“浮秤”模拟体的优化设计，成功实现了扩肩工艺阶段的自动控制。
提拉法生长单晶工艺中扩肩阶段实行自动控制的研究
【摘 要】
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在用提拉法（Czochralski)生长钽酸锂（LiTaO3)、铌酸锂（LiNbO3)单晶的实践中，通过对上“浮秤”模拟体的优化设计，成功实现了扩肩工艺阶段的自动控制。
【机 构】
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物资再生利用研究所
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2001年4期
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