【摘 要】
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<正> 0 前言 薄膜材料或薄膜技术和我们的日常生活密切相关,薄膜相关材料影响着用磁卡的产品、各种家用电器、通讯、医疗器械等的性能。而且,面向信息社会,薄膜材料对与信息
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<正> 0 前言 薄膜材料或薄膜技术和我们的日常生活密切相关,薄膜相关材料影响着用磁卡的产品、各种家用电器、通讯、医疗器械等的性能。而且,面向信息社会,薄膜材料对与信息有关之设备的重要性越来越高。 以真空蒸镀为代表的早期镀膜法主要用于形成材料保护膜,但对于薄膜的电子的、磁性的或光学的性质已日益关注,并积极地探讨这些薄膜材料的应用,从而与制造薄膜有关的技术及装备已获得显著的发展。制造薄膜以从气相向固相凝聚为基础,作
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