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半导体制造中所使用的气体，大多是可燃、有毒、腐蚀性气体，所以，在使用前必须了解它们的物理性质、化学性质、毒性及反应性等。
半导体用气的化学性质
【摘 要】
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半导体制造中所使用的气体，大多是可燃、有毒、腐蚀性气体，所以，在使用前必须了解它们的物理性质、化学性质、毒性及反应性等。
【机 构】
：
不详,光明化工研究所
【出 处】
：
低温与特气
【发表日期】
：
1988年1期
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