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研制了一种低成本、小体积的静电驱动微电机系统（MEMS）可调光衰减器（VOA）。该器件采用了静电驱动微反射镜和光纤光准直器，它具有良好的光学性能，克服了传统VOA的缺点。它的驱动电压范围是0～8V，工作范围是0～25dB。给出了器件的衰减量和驱动电压的关系、光学性能的分析和试验结果。
基于低电压驱动MEMS的可调光衰减器的设计与性能分析
【摘 要】
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研制了一种低成本、小体积的静电驱动微电机系统（MEMS）可调光衰减器（VOA）。该器件采用了静电驱动微反射镜和光纤光准直器，它具有良好的光学性能，克服了传统VOA的缺点。它的驱动电压
【机 构】
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华中科技大学激光技术国家重点实验室,广州银讯光电科技有限公司
【出 处】
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光电子·激光
【发表日期】
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2006年6期
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