论文部分内容阅读
重点分析了操纵原子束进行纳米结构加工中激光系统设计特点，包括激光器件的选择、发射功率与激光波长等参数的确定。用其结论设计出了焦距193.3mm，F/#=1.9，λ=0.67μm的扩速准直光学系统和缩束倍率10×的缩束光学系统。研究结果表明，该系统可以通过控制原子实现纳米图形制作，并且具有使用方便、寿命长、成本低的优点。