【摘 要】
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MOS动态RAM的集成密度、性能正以每年约2倍的速度向前推进,现在是以256k位动态RAM(以下256kDRAM)为主流(图1)。由于历史的原因在多种多样的IC中,使用的工艺技术、集成密度、
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MOS动态RAM的集成密度、性能正以每年约2倍的速度向前推进,现在是以256k位动态RAM(以下256kDRAM)为主流(图1)。由于历史的原因在多种多样的IC中,使用的工艺技术、集成密度、性能、产量等方面,通常是MOS动态RAM居首位,所以在评价IC制造技术水平方面它具有代表性。在这里,就256kDRAM的可靠性作一概述。
The integration density and performance of MOS dynamic RAM is moving at about twice the rate every year, and 256kbit dynamic RAM (256kDRAM below) is now the mainstream (Figure 1). Due to historical reasons, MOS dynamic RAM is usually the first place in the variety of IC technology, integration density, performance, output, etc., so it is representative in the evaluation of IC manufacturing technology. Here, an overview of the reliability of 256kDRAM.
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