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提出了一种新的基于数字微镜的无掩模光刻技术,将以往的模拟掩模发展为数字掩模,为大规模、快速、灵活制作衍射微光学元件开辟了一条新的道路;重点研究了数字掩模技术的实现原理,并进行了验证.
用于衍射微光学元件制备的无掩模光刻技术
【摘 要】
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提出了一种新的基于数字微镜的无掩模光刻技术,将以往的模拟掩模发展为数字掩模,为大规模、快速、灵活制作衍射微光学元件开辟了一条新的道路;重点研究了数字掩模技术的实现
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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安徽省教育厅自然科学基金
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