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较详细介绍了０．８－１μｍ分步重复投影光刻机的主计算机时实时控制系统接口设计，所有接口均采用隔离措施，各种类型接口都具有方便的再扩展功能，接口软件用ＢｏｒｌａｎｄＣ＋＋语言编写，可方便调配组合用。
0.8—1μm分步重复投影光刻机计算机实时控制系统接口设计
【摘 要】
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较详细介绍了０．８－１μｍ分步重复投影光刻机的主计算机时实时控制系统接口设计，所有接口均采用隔离措施，各种类型接口都具有方便的再扩展功能，接口软件用ＢｏｒｌａｎｄＣ＋＋语言编写，可方便调配组合用。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1998年3期
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