折叠梁平面角对电容式RFMEMS开关性能的影响

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【摘要】

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低驱动电压电容式RFMEMS开关采用弹性拆叠梁支撑可变电容活动极板，使开关弹性结构具有很小的弹性系数，但也降低了开关的一阶模态谐振频率，致使开关无法获得较高的开关速度。提出

【作者】

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白竹川高杨刘婷婷陈营端

【机构】

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西南科技大学制造科学与工程学院,中国工程物理研究院电子工程研究所,重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室,西南科技大学信息工程学院

【出处】

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传感器与微系统

【发表日期】

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2009年4期

【关键词】

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射频MEMS开关弹性折叠梁平面角弹性系数 RF MEMS switch flexible serpentine spring plane angle

【基金项目】

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基金项目：中国工程物理研究院科技发展基金资助项目（2008A0403016）,教育部访问学者基金资助项目

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低驱动电压电容式RFMEMS开关采用弹性拆叠梁支撑可变电容活动极板，使开关弹性结构具有很小的弹性系数，但也降低了开关的一阶模态谐振频率，致使开关无法获得较高的开关速度。提出了通过调整弹性折叠梁平面角微调弹性结构弹性系数的方法，在保证开关具有低驱动电压的同时，尽可能提高弹性结构的一阶模态谐振频率。仅改变弹性折叠梁平面角的大小，对其分别为0°，45°，90°的具体开关结构，应用MEMSCAD软件CoventorWare进行机电耦合仿真，定性分析了弹性折叠梁平面角对微结构弹性系数的

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