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13本信号株式会社推出了基于微机电系统（MEMS）技术的超小型六轴力觉传感器。其采用该公司研发的电磁驱动式MEMS光扫描仪“ECOSCAN”的技术经验，主要用于机器人和计量测量仪器领域。
日本企业推出直径仅1cm的六轴力觉传感器
【摘 要】
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13本信号株式会社推出了基于微机电系统（MEMS）技术的超小型六轴力觉传感器。其采用该公司研发的电磁驱动式MEMS光扫描仪“ECOSCAN”的技术经验，主要用于机器人和计量测量仪器领
【出 处】
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军民两用技术与产品
【发表日期】
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2016年1期
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