【摘 要】
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搭建了基于气体折射率方法的气体压力测量装置,测量区间为10—100 kPa,采用双腔比对方法对装置进行了检验.通过将两个真空腔体分别控温,并且真空连通,保证了两个腔内气体压力相同.以高纯氮气(6N)为气体介质,在不同气体压力条件下,得到了双腔对比测量的初步结果.结果显示,基于光学方法的气体折射率压力计重复度高于30×10–6,显著好于商用电容式薄膜压力计,说明该方法具有很大潜力.本文还分析了测量中的误差来源,并计划通过改进系统设计以提高测量精度.
【机 构】
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中国科学技术大学化学物理系, 合肥 230026;中国科学技术大学化学物理系, 合肥 230026;中国科学技术大学, 中国科学院量子信息与量子科技创新研究院, 合肥 230026
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搭建了基于气体折射率方法的气体压力测量装置,测量区间为10—100 kPa,采用双腔比对方法对装置进行了检验.通过将两个真空腔体分别控温,并且真空连通,保证了两个腔内气体压力相同.以高纯氮气(6N)为气体介质,在不同气体压力条件下,得到了双腔对比测量的初步结果.结果显示,基于光学方法的气体折射率压力计重复度高于30×10–6,显著好于商用电容式薄膜压力计,说明该方法具有很大潜力.本文还分析了测量中的误差来源,并计划通过改进系统设计以提高测量精度.
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