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运动学分析是并联机器人机构分析中的首要问题，是进行机构动力学分析、精度分析的基础，而全柔性微动机器人机构的首要目标就是精确实现所需的运动。介绍了平面并联微动机器人伪刚性模型的建立方法，并采用闭环矢量原理建立理论运动学线性模型，得到理论Jacobian矩阵，其次对该机构进行实验分析，得到工作平台的实验输出位移和方位角（Jacobian矩阵）；然后用ANSYS软件对其进行有限元分析，得到有限元运动学模型（Jacobian矩阵值），最后通过MATLAB7．1软件对该机构的三种运动学模型进行工作空间分析，并进行误