PREPARATION AND SURFACE CHARACTERIZATION OF TiO2 THIN FILMS ON GLASS BY MAGNETRON SPUTTERING METHOD

来源 :金属学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xys0709

【摘要】

：

Ti thin films were firstly deposited on glass substrates by magnetron sputtering method,then sintered the Ti thin films in air atmosphere and finally TiO2 trans

【作者】

：

L.S. Yin H. Shen J.X. Zhang

【机构】

：

CollegeofInformationEngineering,DepartmentofPhysics

【出处】

：

金属学报：英文版

【发表日期】

：

2002年2期

【关键词】

：

TiO2 THIN film magnetron SPUTTERING TiO2. thin film. magnetron sputtering

【基金项目】

：

中国科学院"百人计划"

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Ti thin films were firstly deposited on glass substrates by magnetron sputtering method,then sintered the Ti thin films in air atmosphere and finally TiO2 transparence thinfilms on glass substrates were obtained. The structure and surface morphologies oft

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