【摘 要】
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使用同步辐射激励腐蚀的新型微制造技术：非接触掩模在亚微米级中的应用＝Ｎｅｗｍｉ－ｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｉｑｕｅｂｙｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎｒａｄｉａｔｉｏｎ－ｅｘｃｉｔｅｄｅｔｃｂｉｎｇｕｓｅｏｆｎｏｎｃｏｎｔａｃｔｍａｓｋｏｎａｓｕｂ...
New micro-fabrication technology using synchrotron radiation to excite corrosion: Applicati
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使用同步辐射激励腐蚀的新型微制造技术：非接触掩模在亚微米级中的应用＝Ｎｅｗｍｉ－ｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｉｑｕｅｂｙｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎｒａｄｉａｔｉｏｎ－ｅｘｃｉｔｅｄｅｔｃｂｉｎｇｕｓｅｏｆｎｏｎｃｏｎｔａｃｔｍａｓｋｏｎａｓｕｂ...
New micro-fabrication technology using synchrotron radiation to excite corrosion: Application of non-contact mask in sub-micron level = Newmi-crofabricationtechniquebysynchrotronradiation-excitedecbinguseofnoncontactmaskonasub ...
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