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期刊论文
微米/纳米技术在微惯性器件中的应用
微米/纳米技术在微惯性器件中的应用
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:long5139
【摘 要】
:
微型硅加速度计采用挠性结构、电容传感器和电容静电力矩器。挠性接头厚度和电容极板间隙均在微米量级。而电极表面绝缘层厚度应在纳米量级。它的结构设计和制作工艺紧密依靠
【作 者】
:
陈锦杜
【机 构】
:
航天工业总公司十六研究所
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
1996年S1期
【关键词】
:
微型硅加速度计
纳米技术
微型惯性器件
电容传感器
差动电容
力矩器
摆片
电容器极板
静电力
挠性结构
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微型硅加速度计采用挠性结构、电容传感器和电容静电力矩器。挠性接头厚度和电容极板间隙均在微米量级。而电极表面绝缘层厚度应在纳米量级。它的结构设计和制作工艺紧密依靠细微加工技术。从需要出发,合理设计,采用新技术新工艺,发展微型惯性器件。
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