高真空空间模拟检测装置和部分元件的残气分析

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用国产SJX—1小型四极质谱分析计探测了高真空空间模拟检测装置在P=10~(-7)torr级的残气质谱。对所记录的质谱图做了定性识别,肯定了系统中有碳氢化物和矿物油的存在,分析了各种残气的来源。对部分元件进行了残气质谱分析,以相对比较法对谱图做了半定量性的对比分析,提出了对所测的元件可否用于本真空系统中的建议。 The domestic SJX-1 mini quadrupole mass spectrometer was used to detect the GC mass spectra of the Pseudomonas aeruginosa at P = 10 ~ (-7) torr. The recorded spectra were qualitatively identified, affirming the presence of hydrocarbon and mineral oil in the system, and analyzing the sources of various residual gases. Residual gas mass spectrometry (GC-MS) was carried out on some of the components. Semi-quantitative comparative analysis of the spectra was carried out by relative comparison method. Proposed whether the measured components could be used in this vacuum system was proposed.
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