电弧离子镀（Ti,Cr）N硬质薄膜的成分、结构与硬度

来源 :大连理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chenhy8208

【摘要】

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用Bulat 6型电弧离子镀设备在高速钢表面沉积合成(Ti,Cr)N硬质薄膜,通过改变分离靶弧电流的配置来调节薄膜成分,制取了x=0.62～0.83的(TixCr1-x)N薄膜;考察了薄膜的成分、结构

【作者】

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陈军林国强陈静韦江王富岗

【机构】

：

大连理工大学,大连机车车辆厂

【出处】

：

大连理工大学学报

【发表日期】

：

2002年5期

【关键词】

：

(Ti Cr)N硬质薄膜硬度合金强化薄膜成分电弧离子镀氮化钛铬薄膜相结构合成 alloy strengthening/hard film arc

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用Bulat 6型电弧离子镀设备在高速钢表面沉积合成(Ti,Cr)N硬质薄膜,通过改变分离靶弧电流的配置来调节薄膜成分,制取了x=0.62～0.83的(TixCr1-x)N薄膜;考察了薄膜的成分、结构与硬度间的相互关系,明确了Cr在TiN基薄膜中使硬度提高的合金强化作用;结合元素周期律中的基本性质和热力学特征,讨论了Ti、Cr两种元素在(Ti,Cr)N薄膜的相结构(fcc)形成与合金强化中的作用.

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