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芯片厂的建设对厂房洁净室的要求很高。武汉新芯集成电路厂是目前国内已经投产的芯片厂中生产工艺最先进的，其洁净室面积也是国内同类厂房中洁净面积最大的厂房，本文结合武汉新芯集成电路厂的建设实例，介绍了高洁净度洁净室设计与施工的一般方法。
纳米芯片厂高洁净度洁净室设计与施工技术
【摘 要】
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芯片厂的建设对厂房洁净室的要求很高。武汉新芯集成电路厂是目前国内已经投产的芯片厂中生产工艺最先进的，其洁净室面积也是国内同类厂房中洁净面积最大的厂房，本文结合武汉新
【机 构】
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武汉花山生态新城投资有限公司
【出 处】
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武汉职业技术学院学报
【发表日期】
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2012年1期
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