WC—Co硬质合金基体上金刚石薄膜的附着机理研究

来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mars22

【摘要】

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金刚石涂层在硬质合金(WC-Co)基体上的附着力,是影响金刚石涂层刀具切削性能和使用寿命的关键因素.采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)法在经酸浸蚀脱Co的硬质合金基体上生长

【作者】

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杨仕娥马丙现樊志琴鲁占灵姚宁张兵临

【机构】

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郑州大学

【出处】

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真空与低温

【发表日期】

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2004年1期

【关键词】

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WC-CO硬质合金金刚石薄膜附着机理附着力金刚石涂层刀具 diamond films cemented carbide adhesion strengt

【基金项目】

：

河南省科技攻关项目

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金刚石涂层在硬质合金(WC-Co)基体上的附着力,是影响金刚石涂层刀具切削性能和使用寿命的关键因素.采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)法在经酸浸蚀脱Co的硬质合金基体上生长金刚石薄膜.通过对金刚石膜/基界面的微观形貌和成分分析,初步认识了金刚石薄膜的附着机理:机械锁合作用对金刚石膜/基附着力有较大贡献;界面热应力和弱中间相的存在是导致金刚石膜自发剥离的主要原因.

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