【摘 要】
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根据MEMS光栅的工作特点及结构参数,提取光栅的等效电容,并采用高压运算放大器PA69研制出一种新型的MEMS光栅的动态驱动电路。为了避免自激振荡的发生,电路中采用了频率补偿
【机 构】
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西北工业大学陕西省微／纳米系统重点实验室
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根据MEMS光栅的工作特点及结构参数,提取光栅的等效电容,并采用高压运算放大器PA69研制出一种新型的MEMS光栅的动态驱动电路。为了避免自激振荡的发生,电路中采用了频率补偿和并联反馈电容的方法,有效提高了电路的稳定性。经过测试,其动态性能与PSPICE10仿真的结果非常吻合。该动态驱动电路完全能够满足MEMS光栅动态复杂控制的需要。
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