【摘 要】
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美国某公司研究中心经过连续五年的研究,一种使用X射线检查半导体晶体缺陷又不会对晶体造成任何损伤的新设备终于接近投入生产.这种设备在检查半导体晶片时,使用散射X射线束
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美国某公司研究中心经过连续五年的研究,一种使用X射线检查半导体晶体缺陷又不会对晶体造成任何损伤的新设备终于接近投入生产.这种设备在检查半导体晶片时,使用散射X射线束照射整个晶片表
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